Castillo Saenz, Jhonathan Rafael
Bernechea Navarro, Maria (dir.) ; Radnev Nedev, Nicola (dir.)
Universidad de Zaragoza,
2022
Resumen: El objetivo y principal aportación de este proyecto de investigación, fue el desarrollo de
algunos procesos de síntesis, deposición y caracterización de películas delgadas de Al2O3,
ZnO y NiOx, y su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos y optoelectrónicos.
Se logró obtener con éxito, películas delgadas de Al2O3 y ZnO a baja temperatura mediante
la técnica de deposición por capas atómicas mejorada con plasma (PE-ALD), estas películas
presentaron excelentes propiedades ópticas, morfológicas, estructurales, composicionales y
eléctricas, que permitieron su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos. Las
películas de Al2O3 y ZnO se utilizaron como dieléctrico y semiconductor tipo-n
respectivamente, en la fabricación de transistores de película delgada transparente,
capacitores y resistores, estos dispositivos presentaron propiedades muy prometedoras para
aplicaciones en electrónica flexible.
Se logró obtener y caracterizar con éxito películas delgadas de NiOx a partir de la oxidación
térmica a 400 °C, 500 °C y 600 °C de películas delgadas de Ni depositadas por la técnica de
evaporación con haz de electrones (e-beam). Se fabricaron fotodiodos basados en una
heteroestructura NiOx/Si. Los diodos con capa de NiOx obtenidos a 500 °C mostraron el
mejor rendimiento en términos de corriente inversa y fotorespuesta. A 0 V estos diodos tienen
responsividades entre 0.85 y 0.41 A/W para longitudes de onda en el rango de 365 – 635 nm,
mientras que bajo un sesgo inverso de -1.5 V la responsividad aumenta a valores entre 59 y
32 A/W. Estas responsividades son mucho más altas que las reportadas previamente para
fotodiodos basados en heteroestructura NiO/Si y se encuentran entre los valores más altos
publicados para detectores de banda ancha.
Por último, se desarrollaron dos procesos de síntesis y deposición de películas delgadas y
nanopartículas de NiOx mediante el método Sol-Gel y la síntesis coloidal respectivamente,
ambos procesos resultaron ser sencillos, de bajo costo y permitieron obtener NiOx con
propiedades ópticas, estructurales, morfológicas, composicionales, muy prometedoras para
aplicaciones en dispositivos electrónicos y optoelectrónicos.
Resumen (otro idioma):
algunos procesos de síntesis, deposición y caracterización de películas delgadas de Al2O3,
ZnO y NiOx, y su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos y optoelectrónicos.
Se logró obtener con éxito, películas delgadas de Al2O3 y ZnO a baja temperatura mediante
la técnica de deposición por capas atómicas mejorada con plasma (PE-ALD), estas películas
presentaron excelentes propiedades ópticas, morfológicas, estructurales, composicionales y
eléctricas, que permitieron su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos. Las
películas de Al2O3 y ZnO se utilizaron como dieléctrico y semiconductor tipo-n
respectivamente, en la fabricación de transistores de película delgada transparente,
capacitores y resistores, estos dispositivos presentaron propiedades muy prometedoras para
aplicaciones en electrónica flexible.
Se logró obtener y caracterizar con éxito películas delgadas de NiOx a partir de la oxidación
térmica a 400 °C, 500 °C y 600 °C de películas delgadas de Ni depositadas por la técnica de
evaporación con haz de electrones (e-beam). Se fabricaron fotodiodos basados en una
heteroestructura NiOx/Si. Los diodos con capa de NiOx obtenidos a 500 °C mostraron el
mejor rendimiento en términos de corriente inversa y fotorespuesta. A 0 V estos diodos tienen
responsividades entre 0.85 y 0.41 A/W para longitudes de onda en el rango de 365 – 635 nm,
mientras que bajo un sesgo inverso de -1.5 V la responsividad aumenta a valores entre 59 y
32 A/W. Estas responsividades son mucho más altas que las reportadas previamente para
fotodiodos basados en heteroestructura NiO/Si y se encuentran entre los valores más altos
publicados para detectores de banda ancha.
Por último, se desarrollaron dos procesos de síntesis y deposición de películas delgadas y
nanopartículas de NiOx mediante el método Sol-Gel y la síntesis coloidal respectivamente,
ambos procesos resultaron ser sencillos, de bajo costo y permitieron obtener NiOx con
propiedades ópticas, estructurales, morfológicas, composicionales, muy prometedoras para
aplicaciones en dispositivos electrónicos y optoelectrónicos.
Resumen (otro idioma):
Pal. clave: laminas delgadas ; semiconductores ; dispositivos semiconductores ; superficies
Titulación: Programa de Doctorado en Ingeniería Química y del Medio Ambiente
Plan(es): Plan 515
Nota: Presentado: 28 10 2022
Nota: Tesis-Univ. Zaragoza, , 2022
Enlace permanente:
Registro creado el 2022-12-15, última modificación el 2022-12-15
