Symp. Des. Test Integr. Packag. MEMS/MOEMS Symp. Des. Test Integr. Packag. MEMS/MOEMS 3D-Fractal engineering based on oxide-only corner lithography Berenschot J.W. Tiggelaar R. M. Geerlings J. Gardeniers J.G.E. Tas N.R. Malankowska M. Universidad de Zaragoza Pina M.P. Universidad de Zaragoza Mallada R. Universidad de Zaragoza 2016 research-article