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000112235 005__ 20220510091957.0
000112235 037__ $$aTAZ-TFM-2021-1551
000112235 041__ $$aspa
000112235 1001_ $$aMuro Fraguas, Laura
000112235 24200 $$aDesign and integration of metrological instruments in a high-range 2D nanopositioning platform
000112235 24500 $$aDiseño e integración de instrumentos metrológicos en una nanoposicionadora 2D de alto rango
000112235 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2021
000112235 506__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/
000112235 520__ $$aLa nanotecnología cada vez tiene más importancia y es más esencial en el mundo de la Ciencia y la Tecnología. Por ello, el Grupo de Ingeniería de Fabricación y Metrología Avanzada (GIFMA) de la Universidad de Zaragoza ha desarrollado una nanoposicionadora de alto rango, llamada NanoPla. La NanoPla es un sistema bidimensional de posicionamiento que alcanza una precisión submicrométrica en un amplio rango de trabajo (50 mm x 50 mm). A la plataforma se le pueden integrar instrumentos de medida para la caracterización metrológica de superficies a escala submicrométrica (eje Z) en su amplio rango de trabajo, así como un portamuestras piezoelétrico, el cual permite un posicionamiento más fino (rango de trabajo de 100 μm × 100 μm × 10 μm) para el escaneo de una pieza. El presente proyecto consiste en el diseño, fabricación e integración de un utillaje que permita integrar en la plataforma móvil de la NanoPla dos instrumentos de medida: un sensor confocal y un encoder táctil. Además, el proyecto también se centra en diseñar, fabricar e integrar un soporte para el portamuestras piezoelétrico. Para garantizar la precisión de los diseños, estos se analizarán desde un punto de vista térmico y estático. Así mismo se establecerá un modelo matemático del sistema que permita corregir los errores de montaje.<br />
000112235 521__ $$aMáster Universitario en Ingeniería Mecánica
000112235 540__ $$aDerechos regulados por licencia Creative Commons
000112235 700__ $$aAlbajez García, José Antonio$$edir.
000112235 700__ $$aDíaz Pérez, Lucía Candela$$edir.
000112235 7102_ $$aUniversidad de Zaragoza$$bIngeniería de Diseño y Fabricación$$cIngeniería de los Procesos de Fabricación
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