112235 20220510091957.0 TAZ-TFM-2021-1551 spa Muro Fraguas, Laura Design and integration of metrological instruments in a high-range 2D nanopositioning platform Diseño e integración de instrumentos metrológicos en una nanoposicionadora 2D de alto rango Zaragoza Universidad de Zaragoza 2021 by-nc-sa Creative Commons 3.0 http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ La nanotecnología cada vez tiene más importancia y es más esencial en el mundo de la Ciencia y la Tecnología. Por ello, el Grupo de Ingeniería de Fabricación y Metrología Avanzada (GIFMA) de la Universidad de Zaragoza ha desarrollado una nanoposicionadora de alto rango, llamada NanoPla. La NanoPla es un sistema bidimensional de posicionamiento que alcanza una precisión submicrométrica en un amplio rango de trabajo (50 mm x 50 mm). A la plataforma se le pueden integrar instrumentos de medida para la caracterización metrológica de superficies a escala submicrométrica (eje Z) en su amplio rango de trabajo, así como un portamuestras piezoelétrico, el cual permite un posicionamiento más fino (rango de trabajo de 100 μm × 100 μm × 10 μm) para el escaneo de una pieza. El presente proyecto consiste en el diseño, fabricación e integración de un utillaje que permita integrar en la plataforma móvil de la NanoPla dos instrumentos de medida: un sensor confocal y un encoder táctil. Además, el proyecto también se centra en diseñar, fabricar e integrar un soporte para el portamuestras piezoelétrico. Para garantizar la precisión de los diseños, estos se analizarán desde un punto de vista térmico y estático. Así mismo se establecerá un modelo matemático del sistema que permita corregir los errores de montaje.<br /> Máster Universitario en Ingeniería Mecánica Derechos regulados por licencia Creative Commons Albajez García, José Antonio dir. Díaz Pérez, Lucía Candela dir. Universidad de Zaragoza Ingeniería de Diseño y Fabricación Ingeniería de los Procesos de Fabricación 794869@unizar.es 6387971 http://zaguan.unizar.es/record/112235/files/TAZ-TFM-2021-1551.pdf Memoria (spa) oai:zaguan.unizar.es:112235 driver trabajos-fin-master TAZ TFM EINA 20211126173200.CREATION_DATE deposita:2022-05-10