<secondary-title/> </titles> <doi/> <pages/> <volume/> <number/> <keywords> <keyword>física del estado sólido</keyword> </keywords> <dates> <year>2025</year> <pub-dates> <date>2025</date> </pub-dates> </dates> <abstract>La microscopía de sonda de barrido (Scanning Probe Microscopy, SPM) se ha convertido desde hace tiempo en una herramienta indispensable en la física del estado sólido para la caracterización y manipulación de una gran variedad de propiedades superficiales a escala nanométrica. En la microscopía de barrido SQUID (Scanning SQUID Microscopy, SSM), la resolución espacial de los métodos SPM se combina con la sensibilidad al flujo sin precedentes de un dispositivo de interferencia cuántica superconductora (Superconducting Quantum Interference Device, SQUID). El SQUID-on-Lever (SoL) es una implementación emergente de SSM en la que el SQUID se coloca en la punta de una micropalanca SPM, combinando la sensibilidad del SQUID con el contraste topográfico y el control de la distancia punta-muestra de la microscopía de fuerza atómica (Atomic Force Microscopy, AFM). Para superar la alta relación de aspecto de la punta sobresaliente, se requieren técnicas de fabricación novedosas e innovadoras, lo que supone un desafío significativo para los métodos convencionales de nanofabricación basados en resinas. El trabajo presentado en esta tesis doctoral contribuye a la iniciativa FIBSuperProbes, investigando el uso del procesamiento mediante un haz de iones focalizado (Focused Ion Beam, FIB) para la funcionalización de micropalancas SPM con estructuras superconductoras para la fabricación, entre otros, de sondas SoL. Con la posibilidad de realizar tanto fresado FIB como deposición inducida por haz de iones focalizado (Focused Ion Beam Induced Deposition, FIBID) en el mismo instrumento, la conmutación in situ entre métodos sustractivos y aditivos ofrece un alto grado de flexibilidad en la fabricación de dispositivos complejos a escala nanométrica. Los esfuerzos se centran en el precursor hexacarbonilo de tungsteno (W(CO)6), que, tras la irradiación con un FIB de Ga+, forma un depósito compuesto principalmente de W y C. El depósito resultante forma un superconductor de tipo II con una temperatura crítica de aproximadamente 4.5K y puede ser modelado con una resolución de aproximadamente 50nm. Este trabajo marca el primer paso hacia la fabricación ascendente (bottom-up) de dispositivos SoL en un procedimiento de un solo paso. Presentamos prototipos de nanoSQUIDs basados en tungsteno, modelados tanto en chips de silicio convencionales como en la cara superior de micropalancas SPM, prepatronados con contactos de oro, junto con sus respectivas características de magnetotransporte. </abstract> </record> </records> </xml>

De Teresa Nogueras, José María Sangiao Barral, Soraya <secondary-title/> </titles> <doi/> <pages/> <volume/> <number/> <keywords> <keyword>física del estado sólido</keyword> </keywords> <dates> <year>2025</year> <pub-dates> <date>2025</date> </pub-dates> </dates> <abstract>La microscopía de sonda de barrido (Scanning Probe Microscopy, SPM) se ha convertido desde hace tiempo en una herramienta indispensable en la física del estado sólido para la caracterización y manipulación de una gran variedad de propiedades superficiales a escala nanométrica. En la microscopía de barrido SQUID (Scanning SQUID Microscopy, SSM), la resolución espacial de los métodos SPM se combina con la sensibilidad al flujo sin precedentes de un dispositivo de interferencia cuántica superconductora (Superconducting Quantum Interference Device, SQUID). El SQUID-on-Lever (SoL) es una implementación emergente de SSM en la que el SQUID se coloca en la punta de una micropalanca SPM, combinando la sensibilidad del SQUID con el contraste topográfico y el control de la distancia punta-muestra de la microscopía de fuerza atómica (Atomic Force Microscopy, AFM). Para superar la alta relación de aspecto de la punta sobresaliente, se requieren técnicas de fabricación novedosas e innovadoras, lo que supone un desafío significativo para los métodos convencionales de nanofabricación basados en resinas. El trabajo presentado en esta tesis doctoral contribuye a la iniciativa FIBSuperProbes, investigando el uso del procesamiento mediante un haz de iones focalizado (Focused Ion Beam, FIB) para la funcionalización de micropalancas SPM con estructuras superconductoras para la fabricación, entre otros, de sondas SoL. Con la posibilidad de realizar tanto fresado FIB como deposición inducida por haz de iones focalizado (Focused Ion Beam Induced Deposition, FIBID) en el mismo instrumento, la conmutación in situ entre métodos sustractivos y aditivos ofrece un alto grado de flexibilidad en la fabricación de dispositivos complejos a escala nanométrica. Los esfuerzos se centran en el precursor hexacarbonilo de tungsteno (W(CO)6), que, tras la irradiación con un FIB de Ga+, forma un depósito compuesto principalmente de W y C. El depósito resultante forma un superconductor de tipo II con una temperatura crítica de aproximadamente 4.5K y puede ser modelado con una resolución de aproximadamente 50nm. Este trabajo marca el primer paso hacia la fabricación ascendente (bottom-up) de dispositivos SoL en un procedimiento de un solo paso. Presentamos prototipos de nanoSQUIDs basados en tungsteno, modelados tanto en chips de silicio convencionales como en la cara superior de micropalancas SPM, prepatronados con contactos de oro, junto con sus respectivas características de magnetotransporte. </abstract> </record> </records> </xml>