000033667 001__ 33667 000033667 005__ 20170831220746.0 000033667 037__ $$aGDOC-2014-0858 000033667 041__ $$aspa 000033667 100__ $$0(orcid)0000-0003-2874-6368$$aAldea Chagoyen, Concepción 000033667 24500 $$926941$$aMicro y nano sistemas 000033667 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2014-2015 000033667 520__ $$aEsta asignatura persigue introducir al alumno en las técnicas de diseño de micro y nano sistemas físicos. Se pretende que el alumno obtenga un conocimiento básico, pero suficiente, de todas las fases existentes en el proceso de diseño y fabricación de los sistemas integrados. El alumno debe comprender también los fundamentos de los principales microsistemas electro‐mecánicos y conocer sus aplicaciones. 000033667 521__ $$9124$$aGraduado en Física 000033667 540__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ 000033667 700__ $$0(orcid)0000-0003-0182-7723$$aCelma Pueyo, Santiago 000033667 700__ $$0(orcid)0000-0003-2361-1077$$aCalvo López, Belén Teresa 000033667 830__ $$9447 000033667 8564_ $$s80735$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/33667/files/guia.pdf$$yGuía (idioma español) 000033667 980__ $$aGDOC$$bCiencias$$c100