000038042 001__ 38042 000038042 005__ 20170831220909.0 000038042 037__ $$aGDOC-2013-0834 000038042 041__ $$aspa 000038042 100__ $$0(orcid)0000-0003-2874-6368$$aAldea Chagoyen, Concepción 000038042 24500 $$926941$$aMicro y nano sistemas 000038042 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2013-2014 000038042 520__ $$aEsta asignatura persigue introducir al alumno en las técnicas de diseño de micro y nano sistemas físicos. Se pretende que el alumno obtenga un conocimiento básico, pero suficiente, de todas las fases existentes en el proceso de diseño y fabricación de los sistemas integrados. El alumno debe comprender también los fundamentos de los principales microsistemas electro‐mecánicos y conocer sus aplicaciones. 000038042 521__ $$9124$$aGraduado en Física 000038042 540__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ 000038042 700__ $$0(orcid)0000-0003-0182-7723$$aCelma Pueyo, Santiago 000038042 700__ $$0(orcid)0000-0003-2361-1077$$aCalvo López, Belén Teresa 000038042 700__ $$0(orcid)0000-0003-4261-7837$$aGimeno Gasca, Cecilia 000038042 830__ $$9447 000038042 8564_ $$s81211$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/38042/files/guia.pdf$$yGuía (idioma español) 000038042 980__ $$aGDOC$$bCiencias$$c100