000041173 001__ 41173 000041173 005__ 20170831221024.0 000041173 037__ $$aGDOC-2012-0736 000041173 041__ $$aspa 000041173 100__ $$0(orcid)0000-0003-2874-6368$$aAldea Chagoyen, Concepción 000041173 24500 $$926941$$aMicro y nano sistemas 000041173 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2012-2013 000041173 520__ $$aEsta asignatura persigue introducir al alumno en las técnicas de diseño de micro y nano sistemas físicos. Se pretende que el alumno obtenga un conocimiento básico, pero suficiente, de todas las fases existentes en el proceso de diseño y fabricación de los sistemas integrados. El alumno debe comprender también los fundamentos de los principales microsistemas electro‐mecánicos y conocer sus aplicaciones. 000041173 521__ $$9124$$aGraduado en Física 000041173 540__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ 000041173 700__ $$0(orcid)0000-0003-0182-7723$$aCelma Pueyo, Santiago 000041173 700__ $$0(orcid)0000-0003-2361-1077$$aCalvo López, Belén Teresa 000041173 700__ $$0(orcid)0000-0002-9416-7092$$aValero Bernal, María De Rodanas 000041173 830__ $$9447 000041173 8564_ $$s83009$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/41173/files/guia.pdf$$yGuía (idioma español) 000041173 980__ $$aGDOC$$bCiencias$$c100