000006761 001__ 6761 000006761 005__ 20150325135918.0 000006761 037__ $$aTAZ-PFC-2011-754 000006761 041__ $$aspa 000006761 1001_ $$aGarcía Domingo, Sara 000006761 24500 $$aSíntesis y caracterización de capas zeolíticas a nivel de oblea para su incorporación en procesos de microfabricación. Desarrollo de micromembranas de MFI para separación de mezclas H2/CO2 000006761 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2011 000006761 506__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ 000006761 520__ $$aEste proyecto se enmarca dentro de una línea de investigación que desarrolla microsistemas con capas/recubrimientos zeolíticos como elemento activo. Para tal fin es necesaria la integración de la etapa de síntesis y crecimiento de las capas policristalinas de zeolita en los esquemas clásicos de microfabricación basados en tecnologías de silicio. Más concretamente, este trabajo aborda en primer lugar la síntesis y caracterización de capas de materiales zeolíticos porosos (silicalita (estructura MFI), de zeolita tipo A (estructura LTA) y de zeolita tipo Y (estructura FAU)) sobre soportes basados en silicio. Con este objeto, va a ser necesaria una optimización de los procesos de siembra y un estudio detallado de la etapa de crecimiento secundario y la posterior eliminación del agente estructurante para conseguir recubrimientos homogéneos y con una buena adhesión al soporte de dimensiones típicas utilizadas en los procesos actuales de sala blanca. Mediante técnicas de caracterización morfológica y estructural (SEM-EDX, XRD) se definirán las condiciones de síntesis más adecuadas para cada estructura zeolítica. Teniendo en cuenta estos resultados, en un segundo lugar se definirán los procesos de microfabricación para la obtención de diferentes microestructuras. En particular, se pretende llevar a cabo la microfabricación de micromembranas de zeolita con distintas orientaciones cristalográficas para su posterior utilización en una aplicación concreta, separación de mezclas de hidrógeno y dióxido de carbono. Se compararán los resultados obtenidos en términos de permeación y factor de separación con los publicados en la literatura. Otra aplicación que aquí se plantea es la obtención de microtrampas o micropreconcentradores y sensores de humedad de tipo capacitivo mediante procesos de litografía y grabado húmedo. A esta escala se pueden llegar a conseguir elevadas relaciones superficie/volumen imprescindibles dentro de estos campos. 000006761 521__ $$aIngeniero Químico 000006761 540__ $$aDerechos regulados por licencia Creative Commons 000006761 6531_ $$aobleas de si 000006761 6531_ $$acapa fina de si3nx 000006761 6531_ $$asíntesis hidrotermal 000006761 6531_ $$acrecimiento secundario 000006761 6531_ $$amfi 000006761 6531_ $$alta 000006761 6531_ $$afau 000006761 6531_ $$aescalado a 3 pulgadas 000006761 6531_ $$amicrofabricación 000006761 6531_ $$alitografía óptica 000006761 6531_ $$agrabado húmedo 000006761 6531_ $$amicrocanales 000006761 6531_ $$amicromembranas 000006761 6531_ $$adióxido de carbono 000006761 6531_ $$ahidrógeno 000006761 6531_ $$aseparación de gases 000006761 6531_ $$apermeación 000006761 6531_ $$aselectividad 000006761 6531_ $$afactor de separación 000006761 700__ $$aPina Iritia, María Pilar$$edir. 000006761 700__ $$aUrbiztondo Castro, Miguel Ángel$$edir. 000006761 7102_ $$aUniversidad de Zaragoza$$bIngeniería Química y Tecnologías del Medio Ambiente$$cIngeniería Química 000006761 7202_ $$aHerguido Huerta, Francisco Javier$$eponente 000006761 8560_ $$f551133@celes.unizar.es 000006761 8564_ $$s5165873$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/6761/files/TAZ-PFC-2011-754.pdf$$yMemoria (spa) 000006761 8564_ $$s988763$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/6761/files/TAZ-PFC-2011-754_ANE.pdf$$yAnexos (spa) 000006761 909CO $$ooai:zaguan.unizar.es:6761$$pdriver$$pproyectos-fin-carrera 000006761 950__ $$a 000006761 980__ $$aTAZ$$bPFC$$cEINA