Rodríguez Castro, Leidys Marleyn Pina Iritia, María Pilar Urbiztondo Castro, Miguel Ángel a-type zeolite, microfabrication, silicon wafer, photoresin su-8, 2013 2013 Este trabajo fin de máster se enmarca dentro de una línea de investigación que pretende el desarrollo de microsistemas con capas/recubrimientos zeolíticos como elemento diferenciador. Para tal fin es necesaria la integración de la etapa de síntesis y crecimiento de las capas policristalinas de zeolita en los esquemas clásicos de microfabricación. Más concretamente, en este trabajo se proponen micro-trampas// micro-preconcentradores de agua para corrientes gaseosas. Estos dispositivos cobran especial importancia en los sistemas de análisis químico donde el acondicionamiento de la muestra gaseosa mejora la cuantificación/detección. Para tal fin se han propuesto dos vías de estudio, ambas sobre materiales microporosos hidrofílicos, que difieren en la naturaleza del soporte microestructurado: silicio y fotoresina SU8. Por una parte se va a estudiar la síntesis y caracterización de capas policristalinas de zeolitas hidrofílicas de tipo A (estructura LTA) a escala de oblea con capa fina de SiO de tres pulgadas de diámetro. Por lo tanto va a ser necesaria una optimización de los procesos de siembra previa a la etapa de crecimiento secundario y posterior eliminación del agente estructurante para conseguir recubrimientos homogéneos y con buena adhesión a un soporte con las dimensiones típicamente usadas en los procesos actuales de sala blanca. Mediante técnicas de caracterización morfológica y estructural (SEM-EDX, XRD) se definirán las condiciones de síntesis más adecuadas para cada estructura zeolítica. En paralelo, se van a definir los diseños de las máscaras (con relación de aspecto: longitud de canal/dimensión característica del canal variable) para el grabado en superficie de las microestructuras sobre obleas de Si. Los soportes microestructurados de Si serán sometidos a los procesos optimizados de crecimiento secundario para conseguir un recubrimiento homógeneo y una carga de adsorbente adecuada a la aplicación que se persigue.