Rodríguez Castro, Leidys Marleyn Pina Iritia, María Pilar Urbiztondo Castro, Miguel Ángel Micropatterned substrate modified with hydrophic coating for dewatering applications Este trabajo fin de máster se enmarca dentro de una línea de investigación que pretende el desarrollo de microsistemas con capas/recubrimientos zeolíticos como elemento diferenciador. Para tal fin es necesaria la integración de la etapa de síntesis y crecimiento de las capas policristalinas de zeolita en los esquemas clásicos de microfabricación. Más concretamente, en este trabajo se proponen micro-trampas// micro-preconcentradores de agua para corrientes gaseosas. Estos dispositivos cobran especial importancia en los sistemas de análisis químico donde el acondicionamiento de la muestra gaseosa mejora la cuantificación/detección. Para tal fin se han propuesto dos vías de estudio, ambas sobre materiales microporosos hidrofílicos, que difieren en la naturaleza del soporte microestructurado: silicio y fotoresina SU8. Por una parte se va a estudiar la síntesis y caracterización de capas policristalinas de zeolitas hidrofílicas de tipo A (estructura LTA) a escala de oblea con capa fina de SiO de tres pulgadas de diámetro. Por lo tanto va a ser necesaria una optimización de los procesos de siembra previa a la etapa de crecimiento secundario y posterior eliminación del agente estructurante para conseguir recubrimientos homogéneos y con buena adhesión a un soporte con las dimensiones típicamente usadas en los procesos actuales de sala blanca. Mediante técnicas de caracterización morfológica y estructural (SEM-EDX, XRD) se definirán las condiciones de síntesis más adecuadas para cada estructura zeolítica. En paralelo, se van a definir los diseños de las máscaras (con relación de aspecto: longitud de canal/dimensión característica del canal variable) para el grabado en superficie de las microestructuras sobre obleas de Si. Los soportes microestructurados de Si serán sometidos a los procesos optimizados de crecimiento secundario para conseguir un recubrimiento homógeneo y una carga de adsorbente adecuada a la aplicación que se persigue. eng a-type zeolite, microfabrication, silicon wafer, photoresin su-8,; Universidad de Zaragoza Zaragoza 2013

http://zaguan.unizar.es/record/9991/files/TAZ-TFM-2013-034.pdf;

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