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Graphene removal by water-assisted focused electron-beam-induced etching – unveiling the dose and dwell time impact on the etch profile and topographical changes in SiO
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Graphene removal by water-assisted focused electron-beam-induced etching – unveiling the dose and dwell time impact on the etch profile and topographical changes in SiO
2
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Szkudlarek, Aleksandra
et al
- ART-2024-137573
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