Diseño e integración de instrumentos metrológicos en una nanoposicionadora 2D de alto rango

Muro Fraguas, Laura
Albajez García, José Antonio (dir.) ; Díaz Pérez, Lucía Candela (dir.)

Universidad de Zaragoza, EINA, 2021
Departamento de Ingeniería de Diseño y Fabricación, Área de Ingeniería de los Procesos de Fabricación

Máster Universitario en Ingeniería Mecánica

Resumen: La nanotecnología cada vez tiene más importancia y es más esencial en el mundo de la Ciencia y la Tecnología. Por ello, el Grupo de Ingeniería de Fabricación y Metrología Avanzada (GIFMA) de la Universidad de Zaragoza ha desarrollado una nanoposicionadora de alto rango, llamada NanoPla. La NanoPla es un sistema bidimensional de posicionamiento que alcanza una precisión submicrométrica en un amplio rango de trabajo (50 mm x 50 mm). A la plataforma se le pueden integrar instrumentos de medida para la caracterización metrológica de superficies a escala submicrométrica (eje Z) en su amplio rango de trabajo, así como un portamuestras piezoelétrico, el cual permite un posicionamiento más fino (rango de trabajo de 100 μm × 100 μm × 10 μm) para el escaneo de una pieza. El presente proyecto consiste en el diseño, fabricación e integración de un utillaje que permita integrar en la plataforma móvil de la NanoPla dos instrumentos de medida: un sensor confocal y un encoder táctil. Además, el proyecto también se centra en diseñar, fabricar e integrar un soporte para el portamuestras piezoelétrico. Para garantizar la precisión de los diseños, estos se analizarán desde un punto de vista térmico y estático. Así mismo se establecerá un modelo matemático del sistema que permita corregir los errores de montaje.

Tipo de Trabajo Académico: Trabajo Fin de Master