Nuevas estrategias para la fabricación de contactos eléctricos con el uso de haces de electrones e iones focalizados

Salvador Porroche, Alba
Cea Mingueza, Pilar (dir.) ; De Teresa Nogueras, José María (dir.)

Universidad de Zaragoza, 2024

Pal. clave: microscopia electrónica ; microelectrónica ; conductores metálicos ; haces de electrones

Titulación: Programa de Doctorado en Química Física

Plan(es): Plan 492

Knowledge area: Ciencias

Nota: Presentado: 07 03 2024

Nota: Tesis-Univ. Zaragoza, , 2024